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ARZUFFI發電機 BDS-MF系列
名稱:  ARZUFFI發電機 BDS-MF系列
型號:  ARZUFFI
品牌:  
產地:  意大利
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發布時間:  2018-11-20
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產品詳情

  ARZUFFI發電機 BDS-MF系列

  Arzuffi BDS-MF是一款等離子發生器,其正弦輸出電壓為40 kHz,最大功率輸出為5 kW或10 kW,專為PECVD等離子或等離子體激發而設計。

  該發生器能夠提供高達10kW(5KW)至5000V的RMS輸出。輸出為兩個對稱電極的平衡型。

  典型的應用是大型工藝室的PECVD工藝。

  一個特點是內部輸出的高壓變壓器,帶有兩個插座,以適應等離子體阻抗。

  該發生器設計用于現有機器上的即插即用安裝。

  ARZUFFI發電機 BDS-MF系列參數:

 

BDS-MF5K

BDS-MF10K

輸出功率

負載為2000歐姆負載時為5 kWatt

負載為2000歐姆負載時為10 kWatt

供電電壓

3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ,10A

(L1,L2,L3,PE)

3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ,18 A(L1,L2,L3,PE)

尺寸

抽屜19英寸機架,4UI高度(177毫米)540毫米深度

抽屜19英寸機架,4UI高度(177毫米)540毫米深度

重量

20KG鋁制容器

20KG鋁制容器

冷卻

空氣冷卻,高效散熱器,該裝置可在高達40°C的環境溫度下工作

空氣冷卻,高效散熱器,該裝置可在高達40°C的環境溫度下工作

輸出電壓

2000歐姆負載時,tap2上的電壓高達5000V

2000歐姆負載時,tap2上的電壓高達5000V

輸出電流

TAP1上最高3.5 A,TAP2上最高2.5A

TAP1上最高3.5 A,TAP2上最高2.5A

輸出連接器

2Fischer 105連接器上的平衡輸出,用于RG214 / U同軸電纜

2Fischer 105連接器上的平衡輸出,用于RG214 / U同軸電纜

等離子點火電壓

大于5500 VRMS

大于5500 VRMS

電弧識別電路

過流一次回路,反應時間1微秒

過流一次回路,反應時間1微秒

接口

DB25連接器,模擬10V信號,24V數字

引腳排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII©

RS232PROFIBUS 發生器(可選)

DB25連接器,模擬10V信號,24V數字

引腳排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII©

RS232PROFIBUS 發生器(可選)

前面板

LCD顯示2×40個字符

LCD顯示2×40個字符

測量電路

RMS電壓,RMS電流,負載上提供的有功功率

RMS電壓,RMS電流,負載上提供的有功功率

調節電路

動力

動力

高壓輸出變壓器

兩個Tap1輸出插座,用于1000歐姆負載,Tap2用于2000歐姆負載

兩個Tap1輸出插座,用于1000歐姆負載,Tap2用于2000歐姆負載

合規

EC可根據要求提供符合性聲明

EC可根據要求提供符合性聲明

  ARZUFFI發電機 BDS-MF系列相關產品圖片:

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